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石英坩堝使用注意事項
新聞來源： 點擊數：3412 更新時間：2013/5/10 9:13:46
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石英坩堝使用注意事項：
1．石英坩堝可在1450度以下使用，分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。當今，世界半導體工業發達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點。
2、不能和HF接觸，高溫時，極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。
3．石英坩堝適于用K2S2O7，KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。
4．石英質脆，易破，使用時要注意。
5．除HF外，普通稀無機酸可用作清洗液。國內常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國內坩堝生產廠家生產的18和20英寸坩堝技術都比較成熟。其生產使用原料石英砂主要由美國進口。國內產的石英砂純度都達不到其要求。其原料里雜質在生產時高溫熔制過程中產生黑點氣泡等 對拉制單晶硅時其穩定性都有一定影響。
出處：
www.m.29zou.com
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